真空鍍膜設備
Equipment Repair & Retrofit
設備維修改造
針對真空設備、鍍膜設備及相關系統提供維修、改造、移機復機與功能調整評估，協助處理設備老化、異常、停產零件及製程需求變更等問題。
可依 PVD、Sputter、ALD 等設備現況，評估真空、電控、機構與控制系統需求。
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ACTUAL PROJECTS
實際設備案例
以下保留現有 PVD、Sputter 與 ALD 設備案例，呈現言碩科技實際接觸的設備類型與服務分類。
真空鍍膜設備
ARC PVD 案例二
PVD 真空鍍膜設備
PVD 案例
整機改造
RTR Sputter 整機改造
設備移機、復機與改造
Inline Sputter 移機、復機與改造
設備改機
8 吋晶圓 ALD 設備改機
8-inch Wafer Atomic Layer Deposition RetrofitWHEN TO EVALUATE
哪些情況可能需要設備維修改造？
設備異常可能涉及多個系統，實際處理方向仍需依設備資料與現場狀況判斷。
真空度無法達標
設備抽氣速度變慢、真空度下降，或無法達到目前製程需求時，可進一步檢查真空系統及相關元件。
設備老舊
PLC、HMI、感測器、電控元件或零件逐漸老化，可能影響設備穩定性與後續維護。
功能需求變更
產品或製程條件改變時，可能需要新增設備功能、調整控制邏輯或重新配置系統。
原廠停止支援
設備使用多年後，可能遇到零件停產、原廠停止支援或無法取得相同規格元件的情況。
設備移機後
設備重新安裝後，通常需要確認真空、電控、配管、配線與基本功能是否正常。
異常警報頻繁
設備反覆出現 Alarm、Interlock、控制異常或動作不穩定時，可進一步盤點相關系統狀況。
WORKFLOW
設備維修改造流程
先釐清設備現況與希望改善的項目，再依確認後的方向安排後續工作。
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01
了解設備現況
確認設備類型、型號、使用需求、現有異常及希望改善的項目。
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02
初步評估
依現有資料或現場狀況，盤點真空、電控、機構、氣體、冷卻及控制系統。
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03
維修或改造
依確認後的方向，進行設備維修、功能調整、零件替代或系統改造。
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04
功能確認
完成後確認設備動作、控制、真空及基本運作狀況。
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05
完成交付
依雙方確認內容完成設備交付，並提供必要的操作或後續注意事項。
FAQ
設備維修改造常見問題
哪些設備可以進行維修或改造？
可依設備類型與現況評估，例如 PVD、Sputter、ALD 等真空設備，以及相關真空、電控、機構與控制系統。實際可行性仍需依設備資料及現場狀況判斷。
設備已停產，還可以維修嗎？
部分原廠停止支援或零件停產的設備，仍可評估零件替代、控制功能調整或系統改造的可行性，但需先確認設備狀況與替代元件條件。
設備移機後需要重新確認哪些項目？
通常需要確認設備定位、配管、配線、真空系統、冷卻、氣體、控制與安全互鎖等項目，再依需求進行基本動作及功能測試。
設備維修與設備改造有什麼不同？
設備維修主要是排查異常並恢復既有功能；設備改造則是依新需求調整設備配置、控制方式、零件或系統功能。
設備改造前需要提供哪些資訊？
建議提供設備品牌、型號、照片、現有異常、警報內容、控制介面、希望改善的功能及設備所在地點，以利進行初步評估。
可以只升級 PLC、HMI 或控制功能嗎？
可依設備現況評估局部控制系統升級，例如 PLC、HMI、感測器或控制邏輯調整，但需確認原有硬體、通訊與安全互鎖是否相容。
可以協助現場評估嗎？
可先提供設備照片、型號、異常狀況與需求，由言碩科技進行初步判斷，再確認是否需要安排進一步評估。
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依設備問題與製程需求，可延伸查看相關服務內容。
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請提供設備品牌、型號、設備照片、目前異常狀況及希望改善的功能，言碩科技可協助進行初步評估。