真空度無法達標
設備持續抽氣，真空值仍無法下降至原本的工作範圍。
HELIUM LEAK TESTING & LOCATING
真空測漏與漏點定位
當設備出現真空抽不下去、抽氣時間變長、壓力異常回升或製程真空不穩定時，問題不一定來自真空幫浦，也可能與腔體、法蘭、閥件、管路或密封位置洩漏有關。
言碩科技使用 Pfeiffer ASM 340 氦質譜測漏儀，依設備結構與現場狀況進行真空測漏，協助縮小洩漏範圍並定位可疑漏點。
不確定問題出在哪裡也沒關係，歡迎先與我們聯絡，由技術人員協助了解現場狀況。
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COMMON VACUUM ISSUES
常見需要測漏的異常
先確認真空異常的表現，再依設備結構逐步縮小可能的洩漏範圍。
抽氣時間明顯變長
在相同操作條件下，設備達到設定真空值所需的時間逐漸增加。
停機後壓力快速回升
關閉抽氣或隔離系統後，腔體壓力在短時間內明顯上升。
製程真空不穩定
真空值持續波動，進一步影響設備運轉或製程穩定性。
拆裝維修後出現異常
腔體、法蘭、閥件、O-ring 或管路拆裝後，真空表現與原先不同。
設備移機復機後需要確認
設備重新定位與連接後，需要確認腔體、管路及接合位置的氣密狀況。
管路、焊道或閥件疑似洩漏
密封老化、安裝偏移、腐蝕、裂痕或接合不良，都可能產生漏氣。
LEAK TESTING SUPPORT
真空測漏服務內容
從現況判斷、氦質譜檢測到可疑漏點定位，依設備結構與現場條件安排檢查。
系統狀況判斷
根據設備目前的真空表現、抽氣狀態及近期維修情形，判斷可能的異常方向，避免一開始就盲目拆解設備。
氦質譜測漏
以氦氣作為示蹤氣體，透過質譜系統辨識進入真空系統的氦氣訊號，協助確認洩漏位置。
分區檢查與漏點定位
逐步檢查腔體、法蘭、O-ring、閥件、真空管路、焊道及幫浦連接位置，縮小可疑洩漏範圍。
檢查結果與改善方向
依現場結果說明可疑位置，並提供密封件處理、密封面清潔、接頭或焊道修補等後續方向。
FIELD INSTRUMENT
ASM 340 氦質譜測漏儀
ASM 340 是一款兼顧高靈敏度、快速反應與現場應用彈性的氦質譜測漏儀，可應用於真空設備維護、系統確認與漏點檢查，協助提高測漏效率與判斷精度。
- 高靈敏度檢測協助辨識一般目視或單純壓力觀察不易發現的微小洩漏訊號。
- 快速反應即時反映氦氣訊號變化，協助逐區檢查並縮小可疑位置。
- 適合真空異常排查可應用於設備維修、腔體拆裝、移機復機及系統確認。
- 支援不同測試方式依設備狀態與檢查需求，搭配合適方式進行判斷。
- 結合數值與現場經驗將量測訊號、設備結構與現場狀況一起納入判讀。
CONTACT US
真空異常，不必先準備完整答案
不知道是幫浦、腔體、閥件還是管路出了問題，也可以先與我們聯絡。由技術人員協助了解設備狀況，再進一步判斷後續檢查方向。
先讓我們了解問題，再一起找出真空異常的真正原因。