Inline Sputter 移機、復機與改造
連續式濺鍍設備
設備拆機、搬遷、重新定位、復機及部分系統改造。
EQUIPMENT RELOCATION & RECOMMISSIONING
設備移機、復機與改造
協助真空鍍膜與半導體設備進行拆機、搬遷、定位、復機及功能確認，降低設備移動過程中的損壞與復機風險。
從原場拆除到新場重新運轉，依設備狀況與現場條件協助規劃執行。
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ACTUAL RELOCATION PROJECTS
實際移機與復機案例
從設備拆機、搬遷定位到復機確認，依設備結構與現場條件進行規劃與執行。
12 吋晶圓 PVD 設備移機
12 吋晶圓 PVD 設備
設備拆機、移機、定位安裝、管線重新連接及復機確認。
連續式濺鍍設備移機與復機
Inline Sputter
設備拆機、搬遷、重新定位、真空與廠務系統連接及功能確認。
卷對卷濺鍍設備移機與復機
RTR Sputter
設備拆機、搬遷、定位、系統復原及基本功能確認。
SERVICE SUPPORT
我們可以協助的項目
設備拆機
確認設備結構、管線、電力與周邊系統，依序進行標記、拆除及分類。
搬遷與定位
配合設備尺寸、現場動線及新場地條件，協助設備搬運、進場與定位。
設備復機
重新連接電力、氣體、真空、冷卻水、排氣及控制系統。
功能確認
確認設備通電、抽真空、警報、閥件、幫浦及相關子系統運作狀態。
設備改造
依新場地配置或製程需求，評估機構、管路、控制與周邊系統調整。
RECOMMISSIONING CHECK
復機完成後確認項目
實際確認內容依設備功能、移機範圍與雙方約定項目執行。
- 電力與控制系統
- 真空幫浦與抽氣系統
- 氣體與冷卻水管路
- 閥件與氣動元件
- 感測器與警報訊號
- 腔體真空度
- 設備通訊狀態
- 機構與安全互鎖
- 基本操作與功能測試
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設備搬遷，不只是移動位置
大型真空與鍍膜設備在拆機、搬運及復機過程中，管線、線路、機構與控制細節都可能影響設備後續運轉。
提供設備照片、型號、原場與新場資訊，由技術人員協助進行初步評估。